Röntgenbeugung in einer Ebene

Für die Charakterisierung von Dünnschichten

Die Röntgenbeugung in einer Ebene ist eine wichtige Methode zur Charakterisierung von Dünnschichten. Bei dieser Technik befinden sich sowohl der einfallende als auch der gebeugte Strahl nahezu parallel zur Probenoberfläche. Mit Standard-Beugungsgeometrien, wie der Bragg-Bretano-Geometrie, werden Gitterebenen vermessen, die parallel zur Probenoberfläche angeordnet sind. Röntgenstrahlen durchdringen Probenoberflächen generell bis zu einer bestimmten Tiefe, bis sie schließlich gebeugt werden. Ist die Probenschicht jedoch zu dünn, werden Röntgenstrahlen komplett absorbiert und keine Beugung wird beobachtet. Hier findet die Röntgenbeugung in einer Ebene Verwendung. Die Methode zeigt zwei wesentliche Merkmale auf:

  1. Die Eindringtiefe des Strahls in die Oberfläche wird auf etwa 100 nm begrenzt.
  2. Die Technik vermisst Gitterebenen die sich nahezu senkrecht zur Probenoberfläche befinden, eine Besonderheit die so von anderen Techniken nicht erreicht werden kann.

Systems

  SmartLab
Advanced state-of-the-art high-resolution XRD system powered by Guidance expert system software
    Ultima IV
High-performance, multi-purpose XRD system for applications ranging from R&D to quality control
    TTRAX III
World's most powerful θ/θ high-resolution X-ray diffractometer features an in-plane diffraction arm