Mikrodiffraktion

Röntgenanalysen kleiner Proben und Probenbereiche, inklusive Mapping-Anwendung

MikrodiffraktionRöntgenbeugungsanalysen von kleinen Proben oder kleinen Bereichen größerer Proben werden allgemeinhin als 'Mikrodiffraktion' bezeichnet. Die Technik kommt dann zur Anwendung, wenn Proben zu klein für die optischen Systeme und Präzisionsleistung konventioneller Röntgenbeugungsinstrumente sind. Hierbei wird ein Mikro-Röntgenstrahl verwendet, der es ermöglicht, Beugungseigenschaften als eine Funktion der Probenposition zu kartografieren. Mit der Fähigkeit, akkurat einen kleinen Röntgenstrahl auf die Probenoberfläche zu fokussieren, können die erhaltenen Informationen als eine Abbildung der Beugungsfunktion aufgetragen werden. Beugungsdaten können Informationen über die Verbindungsbezeichnungen, Kristallitorientierung (Aufbau) und -größe, Eigenspannungen sowie Kristallinität enthalten. Das Gebiet der Mikrodiffraktion wächst rasant für Anwendungen in der Materialforschung und -herstellung. Dies ist damit zu erklären, dass kleinere Bereiche nunmehr die Produktausbeute und -zuverlässigkeit beeinflussen können. Anwendungsgebiete für Mikrodiffraktionsanalysen beinhalten: Prüfpads, beschichtete Halbleiterscheiben, Verbindungsbibliotheken der Kombinatorischen Chemie, Einschlussverbindungen geologischer Probenkörper, Fehleranalysen von Metallen oder Kuststoffkomponenten sowie Qualitätskontrollen in der Herstellung.

Systems

RAPID II   RAPID II
XRD-System mit gewölbter Imaging-Plate (IP) und mit besonders großem Blendendurchmesser. Wahlweise mit Drehanode oder versiegelter Röhre als Röntgenquelle
  TTRAX III   TTRAX III
Weltweit leistungsfähigstes θ/θ hochauflösendes Räntgendiffraktometer mit Diffraktionsarm auf gleicher Ebene
  MFM310   MFM310
System zur Prozessmessung mittels XRR, XRF, und XRD für beschichtete Halbleiterscheiben bis zu 300 mm