Analysen von Dünnschichten

XRD für Messungen epitaktischer Kristallgitterparameter

Röntgenbeugung ist besonders nützlich bei der Untersuchung epitaktischer Schichten und anderer Materialien für die Anfertigung von Dünnschichten. Indem Methoden für Präzisions-Kristallgitterparametermessungen angewandt werden, können Gitterparameterfehlanpassungen einer epitaktischen Schicht vermieden und die Bestimmung des Trägermaterials kann mit großer Genauigkeit durchgeführt werden. Die Gitterparameteranpassung oder -fehlanpassung ist ein entscheidender Gesichtspunkt bei epitaktischen Bauteilen wie Schichten aus magnetischem Granat für Magnetblasenspeicher, dotierten Galliumarsenid-Schichten für LED-Anwendungen sowie Hochleistungstransistoren, Infrarotdetektoren und anderen wichtigen eletronischen Produkten. Eine andere interessante Anwendung von XRD für Dünnschichten ist die grafische Bestimmung des Würmeausdehnungskoeffizienten. Dieser kann ermittelt werden, indem Gitterparameter gegen Temperatur aufgetragen werden und ein Diffraktometer für hohe Temperaturen verwendet wird.

Systeme

  SmartLab
Hochentwickeltes und hochauflösendes XRD-System mit Guidance Expertenbetriebssoftware
    Ultima IV
Hochleistungsfähiges Mehrzweck-XRD-System für breitgefächerte Anwendungen von Forschung & Entwicklung bis zur Qualitätskontrolle
    TTRAX III
Weltweit leistungsfähigstes θ/θ hochauflösendes Räntgendiffraktometer mit Diffraktionsarm auf gleicher Ebene
  MFM65
Instrument zur Prozessmesstechnik von gemusterten Halbleiterscheiben (bis zu 300 mm) mittels XRR, XRF, und XRD
    WaferX 300
Lineares, simultanes WDXRF Spektrometer für Messungen von metallbeschichteten Halbleiterscheiben; Halbleiterscheiben bis zu 300 mm
   


Veröffentlichungen von Dünnschichten analysiert mit Instrumenten von Rigaku

This pdf document contains Rigaku publications on the following topics:
  • In-Plane Diffraction
  • X-Ray Reflectivity (XRR)
  • Epitaxial Film Characterization
  • Small Angle X-ray Scattering (SAXS)
  • Miscellaneous