Beschichtungen

Dicke und Zusammensetzung von Dünnschichten

Beschichtungen oder Dünnschichten sind überaus nützlich in vielen modernen Anwendungen, ob als Sperrschichtfolien in integrierten Schaltkreisen oder als Umwandlungsschicht auf Aluminiumgetränkedosen. Röntgenanalytische Techniken sind dabei von wesentlicher Bedeutung sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für Produktionsprozesse und Qualitätssicherung dieser Materialien und Werkstoffe. Die Röntgenfluoreszenz (XRF) kann die Dicke und Elementarzusammensetzung von metallischen Beschichtungen bestimmen. Die Röntgenreflektometrie wird häufig als Messinstrument im Herstellungsprozess von Halbleitern verwendet. Dabei können Schichtdicken in Mehrfachbeschichtungen vermessen sowie andere Schichteigenschaften wie Rauheit und Zwischenschichtdiffusionsprozesse analysiert werden. Die Röntgenbeugung (XRD) und verwandte Analysetechniken entwickeln sich zunehmend zu einem zentralen Antrieb für die Forschung in der Nanotechnologie. Hierbei können unter anderem die Eigenschaften der Molekularstruktur von Filmen untersucht werden. Die Technologien und die Erfahrung von Rigaku liefern dabei eine Bandbreite unterschiedlicher, zerstörungsfreier analytischer Methoden für Messungen von Beschichtungen und Dünnschichten.