Beschichtungen

Dicke und Zusammensetzung von Dünnschichten

Beschichtungen oder Dünnschichten sind überaus nützlich in vielen modernen Anwendungen, ob als Sperrschichtfolien in integrierten Schaltkreisen oder als Umwandlungsschicht auf Aluminiumgetränkedosen. Röntgenanalytische Techniken sind dabei von wesentlicher Bedeutung sowohl für Forschung und Entwicklung als auch für Produktionsprozesse und Qualitätssicherung dieser Materialien und Werkstoffe. Die Röntgenfluoreszenz (XRF) kann die Dicke und Elementarzusammensetzung von metallischen Beschichtungen bestimmen. Die Röntgenreflektometrie wird häufig als Messinstrument im Herstellungsprozess von Halbleitern verwendet. Dabei können Schichtdicken in Mehrfachbeschichtungen vermessen sowie andere Schichteigenschaften wie Rauheit und Zwischenschichtdiffusionsprozesse analysiert werden. Die Röntgenbeugung (XRD) und verwandte Analysetechniken entwickeln sich zunehmend zu einem zentralen Antrieb für die Forschung in der Nanotechnologie. Hierbei können unter anderem die Eigenschaften der Molekularstruktur von Filmen untersucht werden. Die Technologien und die Erfahrung von Rigaku liefern dabei eine Bandbreite unterschiedlicher, zerstörungsfreier analytischer Methoden für Messungen von Beschichtungen und Dünnschichten.

Systems: 
  NEX QC
Kostengünstiges EDXRF-Elementaranalysegerät für Messungen von Na bis hin zu U in Feststoffe, Flüssigkeiten, Pulvern und Dünnschichten
    NEX CG
Hochleistungsfähiges EDXRF-Elementaranalysegerät mit kartesischen Geometrien für Messungen von Na bis hin zu U in Feststoffen, Flüssigkeiten, Pulvern und Dünnschichten
    Mini-Z Series
WDXRF Instrument für Einzelelementanalysen zu Anwendungen in der Qualitätskontrolle
  MiniFlex
Neuartiges, kompaktes und universal einsetzbares XRD-System der 5. Generation für Phasenidentifizierung und –quantifizierung
    Ultima IV
Hochleistungsfähiges Mehrzweck-XRD-System für breitgefächerte Anwendungen von Forschung & Entwicklung bis zur Qualitätskontrolle
    SmartLab
Fortschrittliches , hochmodernes und hochauflösendes XRD-System mit Guidance Expertensystemsoftware
  Supermini200
Kompaktes, sequentielles WDXRF-Spektrometer für Elementaranalysen von Fluor (F) bis Uran (U) in Feststoffen, Flüssigkeiten und Pulvern
    ZSX Primus
Leistungsfähiges, sequentielles WDXRF-Spektrometer mit Mapping-Fähigkeit und herausragender Leistung für leichte Elemente
    ZSX Primus II
Leistungsfähiges, sequentielles WDXRF-Spektrometer mit Mapping-Fähigkeit und herausragender Leistung für leichte Elemente