Kristallstrukturuntersuchung einer DVD Aufnahmeschicht

Mithilfe des SmartLab Mehrzweckdiffraktometers von Rigaku können Beugungsmessungen in einer Ebene ausgeführt werden um so Kristallstruktur, Gitterkonstanten und Kristallitgröße von polykristallinen Dünnschichten zu ermitteln. Stickstoff wird in der Aufnahmeschicht (GeSbTe 20 nm) verschiedener Aufnahmemedien, wie z.B. in DVDs, gefunden. Hier werden die Kristallitgröße, Gitterverzerrung und Gitterkonstanten gemessen. Die Messergebnisse wurden wie folgt ermittelt.


Residual Stress

Entsprechend obiger Abbildung und Tabelle kann die Kristallinität und die Struktur der entsprechenden Aufnahmemedien mit dieser Methode detailliert untersucht werden. Die Kristallitgröße stimmt mit den Ergebnissen von TEM-Untersuchungen überein.


Das SmartLab ist das modernste hochauflösende Diffraktometer auf dem Markt. Vermutlich die auffälligste Neuerung ist die SmartLab Guidance Software, die dem Benutzer mit einem intelligenten Interface ausstattet um durch alle Feinheiten eines Experiments zu führen, beinahe so als hätte man einen Kristallographiexperten direkt an seiner Seite. Read more about SmartLab...