Zerstörungsfreie Untersuchung der unterschiedlichen Tiefenrichtung in InN, GaN und GaAs

Die unterschiedlichen Parameter der Tiefenrichtung wie die Orientierung, Gitterkonstanten und Zusammensetzung der Oberfläche von Dünnschichten können zerstörungsfrei mithilfe des SmartLab Mehrzweckdiffraktometers von Rigaku analysiert werden. Bei der Beugungsmethode in einer Ebene durchdringen die Röntgenstrahlen die Oberfläche einer Dünnschichtprobe in einem bestimmten Einfallwinkel. Indem dieser präzise kontrolliert wird, kann die Tiefe der eindringenden Röntgenstrahlen kontrolliert werden. Wie das Beispiel der nachfolgenden Abbildung veranschaulicht, wird zunächst die oberste Schicht abgetastet. Mit zunehmendem Einfallwinkel erscheint dann das Signal für GaN und abschließend GaAs.


X-rays penetrate the surface of a thin-film sample at a glazing angle

Das SmartLab ist das modernste hochauflösende Diffraktometer auf dem Markt. Vermutlich die auffälligste Neuerung ist die SmartLab Guidance Software, die dem Benutzer mit einem intelligenten Interface ausstattet um durch alle Feinheiten eines Experiments zu führen, beinahe so als hätte man einen Kristallographiexperten direkt an seiner Seite. Read more about SmartLab...