On-demand Scanning in einer Ebene für Dünnschichtanalysen

Die Fähigkeit des Ultima IV, Scans unter streifendem Einfall sowohl in-plane als auch out-of-plane ganz ohne Systemrekonfiguration durchführen zu können, revolutioniert die Dünnschichtanalyse. Schichten bis zu 1 nm Dicke können routinemäßig mithilfe Rigakus patentiertem in-plane Scanning-Goniometer vermessen werden. Orientierungs- und Gitterparameter in-plane, mittels konventionellem, asymmetrischen Scannen häufig schwierig zu messen, können mittels beobachteter in-plane Reflexionen direkt berechnet werden.

Unterstützte Dünnschicht-Anwendungen beinhalten:

  • Phasenidentifizierung
  • Dicke
  • Orientierung/Textur
  • Oberflächenrauhigkeit
  • Kirstallperfektion
  • Dichte
  • Deformation/Spannung

Die Verwendung von Scans unter streifendem Einfall ist entscheidend für die Messung von photokatalytischen Dünnschichten. Cross-Beam Optik (CBO) ermöglicht die einfache Messung von Dünnschichten in Kombination mit anderem Schüttgut und Pulvern. Die Abbildung unten zeigt die verfeinerten Beugungsdaten unter streifendem Einfall und die Daten einer konventionellen, symmetrischen θ/2θ Messung. Die Beugungspeaks des Films sind in diesem Modus unter streifendem Einfall deutlich erkennbar.

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode

Die kombinierten in-plane und out-of-plane Scans bieten einen Überblick über die Gesamttextur von Dünnschichten. Das Beispiel unten zeigt zwei Scans, in-plane (00L) und out-of-plane (HK0), einer 50 nm Si/Pentacen-Dünnschichtstruktur. Die in-plane Messung, ausgeführt mittels Winkel von 0.18° unter streifendem Einfall bietet eine einzigartigen Einblick in die Orientierung der Schicht.

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode

Röntgenreflektivitäts (XRR)-Messungen werden zur Bestimmung der Dünnschichtstärke, Oberflächenrauhigkeit, Grenzflächenrauhigkeit und Dichte in Schichtmaterialien genutzt. Die Auswahl der Parallelstrahlgeometrie mit einem Tastendruck (bereitgestellt von CBO) und die automatische Probenanpassung, entscheidend für XRR, machen diese Messungen simpel. Das Beispiel unten zeigt sowohl berechnete als auch experimentelle XRR-Kurven von drei übereinander angeordneten Schichten oxidierten GaAs, GaAs, InGaAs auf einem GaAs Schichtträger.

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode



Das Ultima IV repräsentiert das modernste Vielzweck-Röntgendiffraktometersystem (XRD) auf dem Markt. Mittels Rigakus patentierter Technologie der Cross Beam Optik (Querstrahloptik, CBO) für permanent befestigte, stets ausgerichtete und frei wählbare parallel/fokussierende Geometrien, kann das Ultima IV Röntgendiffraktometer vielfältige Messungen verrichten....und das besonders schnell. Read more...