深さ方向分析

元素情報に関するもの 【深さ方向分析】

全反射蛍光X線分析装置で照射角度依存性測定を行うことによっても、深さ方向の元素の分布の様子を探ることができます。
その他、X線回折装置を用いたインプレーン測定では、試料の方位、格子定数、組成などの深さ方向の変化を調べることができます。
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