汚染分析

元素情報に関するもの 【汚染分析】

半導体の生産プロセスにおける汚染分析は非常に重要で、各工程での極微量元素分析が必須となっています。全反射蛍光X線分析は、各工程における迅速汚染管理分析を可能にします。また各種スパッタ膜、Low-k膜など膜付ウェーハの汚染分析にも対応しています。