単結晶・エピ膜の結晶性評価

微小部、状態、その他 【単結晶・半導体エピ膜の結晶性評価】

単結晶やエピ膜などの薄膜試料の結晶性を評価する手法としてロッキングカーブ測定、逆格子マップ測定があります。単結晶の中の欠陥や格子歪を測定する方法としてX線トポグラフ法があります。
s