薄膜の3次元的な配向状態を調べる ~2θ/θ測定とインプレーン測定を組み合わせた配向評価~

X線回折法の中で最も一般的な2θ/θ測定では、試料表面と平行な結晶格子面が観察されます。一方、試料表面と平行にカウンター軸を走査するインプレーン測定では、試料表面に対して垂直な結晶格子面が観察されます。これら2つの測定法を組み合わせると、試料の結晶格子を2つの方向から観測することができます。2&theta/&theta測定、インプレーン測定で観察された結晶格子の指数を比較することで、試料の3次元的な配向状態を評価することができます。


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