DVD記録層の結晶構造評価

試料表面すれすれにX線を入射するインプレーン回折法では、厚さ1 nm程度の非常に薄い膜でも回折測定が可能です。これにより、多結晶性薄膜試料の結晶構造や格子定数、結晶子の大きさなどがわかります。


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