結晶方位分布(ODF)解析によるCu配線膜の評価

金属をはじめとする多くの工業材料の特性と結晶配向には強い関係があるため、配向の方位やその比率を定量的に解析することが重要です。配向を定量的に解析する方法として極点測定があり、ここでは正極点測定から結晶方位分布(Orientation Distribution Function:ODF)解析によりCu配線膜の結晶方位を評価しました。


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