日本板硝子テクノリサーチ株式会社 様

導入事例

リガク製品の導入事例をご紹介いたします。

日本板硝子テクノリサーチ株式会社 様

機材表面に対して、結晶性の把握や配向性の測定が精度よくできるX線回折装置    薄膜評価用試料水平型X線回折装置 SmartLab

[ 2008年3月27日掲載 ]

導入背景

バルク、薄膜、各種の機材表面に対して、結晶性の把握や配向性や構造などの測定が精度よくできるX線回折装置が必要であった。

近年の薄膜製品では数nm膜厚レベルの極薄膜の結晶性の評価が多くなったこと、薄膜そのものの物性値(密度、ラフネスや残量応力など)の測定ニーズが出てきたこと、あるいはサンプルを破壊せずに加熱しながら行う結晶性の測定の要求が増加したこと、さらにはナノ粒子をはじめとした微粒子の粒径や空孔分布測定のニーズが増加したことから、従来から使用していたθ-2θ測定やω-2θ測定以外にも高機能の回折、散乱、また反射率の測定に対応する必要がありました。そのために、X線光学系をフレキシブルに交換しながら迅速に設定ができる高精度の多目的X線回折装置の導入が望まれていました。

導入成果とご担当者の声

粉末やバルク素材を初めとして、薄膜や多層膜、あるいはナノ粒子など多くの材料評価にも対応できるようになった。

SmartLabの導入によって、バルクから薄膜サンプルの多くに対してお客様の分析のご依頼に応えられるようになり、分析内容やデータ品質の向上も達成できるようになりました。また、お客様から要望される難度の高いX線回折などの測定も可能となりました。

SmartLabガイダンスと測定原理の説明も含む正確なマニュアルに基づいた測定で条件設定も容易になった。

X線回折の理論や測定原理を学びながら実際の測定技術を把握することができ、実用上は従来のX線回折装置よりもよりわかりやすい単純な機器構成となりました。また、人間工学的な設計に基づいた本装置は、従来のX線回折装置と比較して使いやすくより機能的になったと思われます。特に、サンプルを水平に設置できることもin-planeX線回折や薄いサンプルの反り対策には非常に良い点です。
SmartLab
日本板硝子テクノリサーチ株式会社
伊丹事業所  常務取締役
酒井 千尋様
in-plane XRDin situ高温装置をセットしたSmartLab

日本板硝子テクノリサーチ株式会社 様 http://www.nsg-ntr.com/

導入製品

膜評価用試料水平型X線回折装置 SmartLab

薄膜評価用試料水平型X線回折装置 SmartLab

・in situ 高温装置(~900℃)

用途

岩石、鉱物の組成分析から、WEEE/RoHS/ELV指令に対応した重元素の微量分析まで幅広く使用できます。 各種薄膜応用材料のX線回折測定やX線反射率測定用

薄膜評価アプリケーション:組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など

小角散乱アプリケーション:液体分散ナノ粒子の粒径分布解析、薄膜またはバルク中ナノ粒子/空孔のサイズ分布解析、ナノ粒子/空孔の形状評価、不規則な電子密度分布の相関関数解析など

各種粉末アプリケーション:定性分析、定量分析、結晶化度評価、結晶子サイズ/格子歪評価、格子定数の精密化、Rietveld解析など

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