Difracción dentro-de-plano

Para caracterización de película (lámina) delgada

La difracción dentro-de-plano, una técnica de difracción de rayos X en la cual el haz de incidente y el haz difractado están paralelos sobre la superficie de muestra, es un método importante para la caracterización de película (lámina) delgada. Con geometrías de difracción estándar, como la geometría Bragg-Brenatto, se pueden medir los planos de celosía en paralelo con la superficie de muestra. Los rayos X penetran hasta cierta profundidad en la muestra, donde se difractan; sin embargo, si la muestra es demasiado delgada, los rayos X se transmiten por toda la muestra y no se observa ninguna instancia de difracción. En estas circunstancias, la difracción dentro-de-plano es usada. La difracción dentro-de-plano tiene dos características mayores:

  1. La profundidad de penetración del haz está limitada a 100nm bajo la superficie.
  2. Esta técnica mide planos de celosía que son (casi) perpendiculares a la superficie de la muestra, los cuales son inaccesibles en otras técnicas

Sistemas

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Sistema de la vanguardia de la alta definición para la difracción de rayos X (XRD), motorizado por el sistema de software experto, Guidance.
    Ultima IV
Sistema de difracción de rayos X (XRD) polivalente y de alto rendimiento para investigación, desarrollo, y control de calidad.
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El drifractómetro de rayos X en θ/θ alta resolución mas poderoso del mundo – caracterizado por su brazo de difracción en el plano