Metrología con semiconductor

XRF, XRD, y XRR para la caracterización de película (lámina) delgada

Metrología con semiconductorRigaku es un pionero y líder mundial en el diseño y fabricación de herramientas de medición con rayos X para resolver problemas del desarrollo de semiconductores. Con más de 30 años de liderazgo en la industria de semiconductores al nivel mundial, nuestras familias de productos permiten todo tipo de trabajo; desde el control metrológico de procesos a media fabricación, hasta el control y calidad de película (lámina) delgada y caracterización de materiales.

Sistemas

MFM310   MFM310
Herramienta para la metrología de procesos de XRR, XRF, y XRD con obleas estampadas; obleas de un máximo de 300mm
  TXRF-310   TXRF-310
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 300mm.
  TXRF 3760   TXRF 3760
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 200mm
TXRF-V310   TXRF-V310
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 200mm.
  WaferX 300   WaferX 300
Espectrómetro en linea, simultaneo de fluorescencia de rayos X por longitud de onda para metrología de láminas de metal - obleas de un máximo de 200mm
  WDA-3650   WDA-3650
Espectrómetro simultaneo de WDXRF para metrología de láminas de metal - obleas de un máximo de 200mm.
SmartLab   SmartLab
Sistema de la vanguardia de la alta definición para la difracción de rayos X (XRD), motorizado por el sistema de software experto, Guidance.
  Ultima IV   Ultima IV
Sistema de difracción de rayos X (XRD) polivalente y de alto rendimiento para investigación, desarrollo, y control de calidad.
  TTRAX III   TTRAX III
El drifractómetro de rayos X en θ/θ alta resolución mas poderoso del mundo – caracterizado por su brazo de difracción en el plano