Metrología con semiconductor

XRF, XRD, y XRR para la caracterización de película (lámina) delgada

Rigaku es un pionero y líder mundial en el diseño y fabricación de herramientas de medición con rayos X para resolver problemas del desarrollo de semiconductores. Con más de 30 años de liderazgo en la industria de semiconductores al nivel mundial, nuestras familias de productos permiten todo tipo de trabajo; desde el control metrológico de procesos a media fabricación, hasta el control y calidad de película (lámina) delgada y caracterización de materiales.

Sistemas

  MFM65
Herramienta para la metrología de procesos de XRR, XRF, y XRD con obleas estampadas; obleas de un máximo de 300mm
    TXRF-310
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 300mm.
    TXRF 3760
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 200mm
  TXRF-V310
Metrología de contaminación de superficies de elementos traza mediante TXRF - obleas de un máximo de 200mm.
    WaferX 300
Espectrómetro en linea, simultaneo de fluorescencia de rayos X por longitud de onda para metrología de láminas de metal - obleas de un máximo de 200mm
    WDA-3650
Espectrómetro simultaneo de WDXRF para metrología de láminas de metal - obleas de un máximo de 200mm.
  SmartLab
Sistema de la vanguardia de la alta definición para la difracción de rayos X (XRD), motorizado por el sistema de software experto, Guidance.
    Ultima IV
Sistema de difracción de rayos X (XRD) polivalente y de alto rendimiento para investigación, desarrollo, y control de calidad.
    TTRAX III
El drifractómetro de rayos X en θ/θ alta resolución mas poderoso del mundo – caracterizado por su brazo de difracción en el plano