Análisis de película (lámina) delgada

Difracción de rayos X (DRX o XRD) para medidas de parámetros de celosía epitaxial

La difracción de rayos X es una técina especialmente valiosa para el estudio de capas epitaxiales y otros materiales de película (lámina) delgada. Usando métodos con parámetros precisos para la medición de celosías, se puede determinar cualquier desajuste de las capas epitaxiales y sus substratos. Este ajuste y desajuste de los parámetros de la celosía es un factor importante para los dispositivos como: las películas (láminas) de granate magnético para memorias de burbuja; películas (láminas) de arseniuro de galio dopado para LEDs y transistores de alta velocidad; detectores infra-rojos y otros productos electrónicos importantes. Otro uso interesante de la difracción de rayos X para películas (láminas) es el hecho de que el coeficiente de expansión termal puede ser determinado mediante el trazado de los parámetros de la celosía en comparación de la temperatura usando un drifractómetro de alta temperatura.

Sistemas

  SmartLab
Sistema de la vanguardia de la alta definición para la difracción de rayos X (XRD), motorizado por el sistema de software experto, Guidance.
    Ultima IV
Sistema de difracción de rayos X (XRD) polivalente y de alto rendimiento para investigación, desarrollo, y control de calidad.
    TTRAX III
El drifractómetro de rayos X en θ/θ alta resolución mas poderoso del mundo – caracterizado por su brazo de difracción en el plano
  MFM65
Herramienta metrológica para obleas con patrones en los procesos de reflectividad de rayos X (XRR), Fluorescencia de rayos X, y difracción de rayos X (XRD) – obleas de no mas de 300mm
    WaferX 300
Espectrómetro en linea, simultaneo de fluorescencia de rayos X por longitud de onda para metrología de láminas de metal - obleas de un máximo de 200mm
   


Publicaciones sobre productos de película (lámina) delgada Rigaku

This pdf document contains Rigaku publications on the following topics:
  • In-Plane Diffraction
  • X-Ray Reflectivity (XRR)
  • Epitaxial Film Characterization
  • Small Angle X-ray Scattering (SAXS)
  • Miscellaneous