面内衍射

薄膜表征

面内衍射入射和衍射光束是几乎平行于样品表面的X射线衍射技术―面内衍射,是薄膜表征的重要方法。通过标准的衍射法,例如Bragg-Brentano法,晶格面被测量与样品表面平行。X射线贯穿到样品的一定深度,会在此处发生衍射,如果样品图层太薄,X射线将完全穿过样品,不会发生衍射。在这些情况下,使用面内衍射。面内衍射主要有以下两个主要特点:

  1. 光束的贯穿深度限于表面100nm之内。
  2. 此技术测量那些(几乎)垂直于样品表面的晶格面。无法通过其他其他技术测量。

仪器

SmartLab   SmartLab
通过系统指导软件(Guidance)运行的最新锐的高分辨率XRD仪器
  Ultima IV   Ultima IV
用于应用程序从研发到质量管理的高性能多功能的XRD仪器
  TTRAX III   TTRAX III
世界最大功率θ/θ高分辨率X射线衍射仪,特点为面内衍射机械臂