面内分布測定

元素情報に関するもの 【面内分布測定】

品質の評価には均質性も重要な項目となります。半導体分野の300mmウェハなどでは面内膜厚・組成の均質性や汚染評価が重要となります。リガクの蛍光X線分析装置にはウェハ専用装置から汎用機にいたるまで面内分布測定が可能です。
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