逆格子マップによるSGOIウェーハの結晶性評価

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逆格子マップとは、結晶性物質の格子面間隔と結晶方位分布を2次元表示したものです。単結晶基板・エピタキシャル薄膜などの結晶性や格子歪みの状態が一目でわかります。


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