電子基板の微小領域マッピング測定

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電子基板のように非常に多くの微小部品で構成されている試料を測定する場合、各領域の結晶状態を評価するためには、X線を絞り、特定の領域にのみ照射する必要があります。従来の光学系ではX線焦点から発散するビームをスリットやコリメーターを用いてポイント状に絞るため、X線強度の減衰が大きく、微小領域の測定には長い時間を必要としていましたが、微小焦点光学素子を搭載したSmartLab µHRと高速2次元X線検出器を用いることで、XG出力が従来の1/10以下であるにもかかわらず、短時間で高強度の微小部測定が可能となりました。


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