Análisis GISAXS de películas (láminas) de sílice porosas con una red organizada de poros.

Las películas (láminas) de silice poroso son importantes para los dispositivos electrónicos y magnéticos modernos debido a sus excelentes propiedades y constantes dieléctricos relativamente bajos. Su estructura de red especial también puede ser usada en la detección de sonidos.

Además, como el tamaño de los poros en las películas de sílice típicamente se mide en nanómetros, pueden ser usados como plantillas para el crecimiento de nano-materiales.

En la Figura 1 a continuación se presenta un patrón de dispersión en 2D de una película porosa de sílice de 20 nm de grosos sobre un substrato de silicio usando el método de Dispersión de rayos X en ángulo de incidencia rasado (GISAXS).

2D scattering pattern
Figura 1

Las medidas se llevaron a cabo con el sistema SAXS S-MAX 3000 de Rigaku con un detector 2D de 200 mm. Se observan los picos de segundo orden a lo largo de la dirección qx. El espacio entre los picos es de 0.052 Å-1, lo cual sugiere un espacio poro-poro periódico de 12 nm, como visto en la Figura 2

Peaks up to the second order along the qx direction are observed
Figura 2



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