Herramienta de metrología FAB para procesos de XRR, XDF Y XRDX

Espesor, densidad, rugosidad y composición de películas en obleas modeladas y en láminas

MFM310

El Rigaku MFM310 realiza mediciones de alta precisión que no son posibles por medio de técnicas ópticas o por ultrasonidos. Esta herramienta sofisticada de metrología de rayos X hace que sea práctico realizar mediciones de alto rendimiento en productos y láminas de obleas en un rango que va desde películas ultra delgadas de una sola capa a pilas de capas múltiples.

Diseñado para un alto volumen de fabricación


El MFM310 está diseñado tomando en cuenta fabricaciones de alto volumen de 200mm y 300mm: alto rendimiento de la medición de espesores por XRR y XRF (reflectometría de rayos X (RRX) y fluorescencia de rayos X (FRX)), baja contaminación en la manipulación de obleas y reconocimiento de patrones basado en control de posición para las mediciones de la oblea del producto, el cumplimiento de las normas CE Marking y S2/S8 para operaciones de producción de semiconductores en sala limpia, el cumplimiento de GEM-300/HSMS y estándares de automatización de fábricas, máquina de alta fiabilidad y rendimiento, bajo consumo de energía y bajo costo de propiedad.

COLORS™ tecnología habilitada


Las ópticas de rayos X Colors™ han sido desarrolladas por Rigaku para el MFM310, para permitir mediciones de áreas pequeñas. Los módulos de haz COLORES reúnen una variedad de fuentes de excitación de XRFo FRX (Fluorescencia de rayos X) con la óptica y están optimizados para proporcionar un nivel alto de brillo en pequeñas manchas para una variedad de aplicaciones de película delgada. Con su propio negocio de óptica de rayos X, Rigaku está bien posicionado como creador y fabricador de fuentes de rayos X para las necesidades actuales y futuras del mercado.

Features

  • Reconocimiento de patrones y de micropuntos de haz de rayos X
  • Mediciones de alto rendimiento de productos-obleas
  • Amplia gama de materiales y aplicaciones
  • Alta resolución y precisión de espesores de recubrimiento desde angstróms a micras
  • Para obleas de 200 mm y 300 mm
  • Disponible con la automatización de fábrica de 300 mm
  • Diseño basado en SEMI S2 y S8 SEMI

Especificaciones de MFM310

Tamaño de la oblea
300mm, 200mm
Puerto de carga
FOUP, 2 puertos de carga
Dimensiones MFM310
140 Ancho x 341 Profundo x 205 Alto (cm)
Dimensiones del intercambiador de calor
36 Ancho x 83.6 Profundo x 85 Alto (cm)
Requistos de potencia de MFM310
3-fases, 208 VAC, 20A, avg., 2kW
Requisitos de potencia del intercambiador de calor
1-fase, 208 VAC, 8A, avg., 500W
Requistos de aire comprimido
0.5 to 0.7 MPa, 20 l/min
Requisitos de vacío
-80 kPa, 20 l/min

Aplicaciones de MFM310

  • Micro-XRR (o RRX): medición del espesor, densidad, y rugosidad de la película
  • Micro-FRX (o XRF): medición del espesor y composición de la película
  • Micro-DRX (o XRD): evaluación de la fase, cristalinidad, orientación preferida
  • Medición del espesor de películas ultrafinas de 1nm
  • Medición de película dieléctrica multicapas por XRR (o RRX)
  • Medición de película de metal multicapa por fluorescencia de rayos FRX (o XRF)
  • Evaluación de la cristalinidad y la orientación del cristal preferido por DRX (o XRD)

Accesorios del MFM310

  • Software de automatización GEM-300 para la automatización complete de fabricas
Producto(s):
(Mantenga presionada la
tecla CTRL para seleccionar
varios productos)
Nombre (primer/apellido):
Compañía:
Correo electrónico o email:
Teléfono: Ext:
Dirección:
Ciudad:
Estado/provincia/región: (use la abreviación de dos letras para EU ( US))
Código o zona postal:
País:
Comentarios adicionales
 (no se aceptan URLs)