Aplicaciones de MFM310

Aplicaciones de MFM310

  • Micro-XRR (o RRX): medición del espesor, densidad, y rugosidad de la película
  • Micro-FRX (o XRF): medición del espesor y composición de la película
  • Micro-DRX (o XRD): evaluación de la fase, cristalinidad, orientación preferida
  • Medición del espesor de películas ultrafinas de 1nm
  • Medición de película dieléctrica multicapas por XRR (o RRX)
  • Medición de película de metal multicapa por fluorescencia de rayos FRX (o XRF)
  • Evaluación de la cristalinidad y la orientación del cristal preferido por DRX (o XRD)