Especificaciones de MFM65

Especificaciones de MFM310

Tamaño de la oblea
300mm, 200mm
Puerto de carga
FOUP, 2 puertos de carga
Dimensiones MFM310
140 Ancho x 341 Profundo x 205 Alto (cm)
Dimensiones del intercambiador de calor
36 Ancho x 83.6 Profundo x 85 Alto (cm)
Requistos de potencia de MFM310
3-fases, 208 VAC, 20A, avg., 2kW
Requisitos de potencia del intercambiador de calor
1-fase, 208 VAC, 8A, avg., 500W
Requistos de aire comprimido
0.5 to 0.7 MPa, 20 l/min
Requisitos de vacío
-80 kPa, 20 l/min