Aplicaciones de TXRF-310

Aplicaciones de TXRF-310

  • Determinación de la distribución espacial de los elementos contaminantes (asignación o mapeo de obleas)
    • Contaminación sobre una superficie de oblea de 300 mm medida en 45 min
    • La distribución de la contaminación se ve a simple vista por los mapas de elementos individuales y por la superposición de la vista de los elemtos
    • La contaminación promedio se calcula sobre la superficie de la oblea entera
    • Las mediciones de alta precisión pueden llevarse a cabo automáticamente en los puntos contaminados encontrados por el screening (cribado o detección) de toda la oblea
  • Para el análisis de rutina en puntos particulares: TXRF directamente en las coordenadas designadas
    • Los niveles correctos de contaminación se registran en todos los puntos en una oblea, evitando la interferencia de difracción
    • La detección de metales de transición es posible en el nivel 109 átomos/cm² (500 segundos de medición)
    • Usando una fuente de rayos X de ánodo giratorio de máximo poder, se obtiene un rendimiento tres veces mayor en comparación con una fuente de tubo sellado
    • Los elementos ligeros, metales de transición, y los elementos pesados ​​se miden a la perfección sin tener que cambiar entre varios tubos de rayos X