Especificaciones de TXRF-310

Especificaciones de TXRF-310

  • Tamaño de oblea: 300 mm, 200 mm, y 150 mm
  • Fuente de rayos X de ánodo giratorio
  • Etapa de la muestra: fase XY θ
  • Detector de estado sólido
  • Transformador eléctrico libre de aceite
  • Excitación de triple haz
  • Óptica de alineación automática
  • Importación de datos desde la herramienta de inspección de defectos de la superficie externa