Pasar al contenido principal
TXRF 3800e
Características
  • Facilidad de operación y resultados de análisis rápidos.
  • Acepta obleas de 200 mm y más pequeñas.
  • Bajo costo de propiedad
  • Diseño compacto, pequeño.
  • Fuente de tubo de rayos X sellada.
  • Amplia gama de elementos analíticos (S ~ U)
  • Aplicación a Si desnudo y a sustratos que no son de Si.
  • Capacidad de medición de exclusión de borde cero (ZEE-TXRF)
  • Importe coordenadas de medición desde herramientas de inspección de defectos para el análisis de seguimiento.

Metrología de contaminación superficial

Mida la contaminación elemental en puntos discretos o con mapas completos de obleas

El análisis TXRF puede medir la contaminación en todos los procesos fab, incluyendo limpieza, litografía, grabado, cenizas, películas, etc. El TXRF 3800e puede medir elementos de S a U con un sistema de rayos X de doble haz de un solo objetivo y un nuevo sistema detector sin nitrógeno líquido.

El TXRF 3800e incluye el sistema de etapa de muestra XY-θ de Rigaku pendiente de patente, un sistema de transferencia robótica de obleas al vacío y un nuevo software de windows fácil de usar. Todo esto contribuye a un mayor rendimiento, mayor precisión, exactitud, y una operación de rutina fácil.

El software opcional Sweeping TXRF permite el mapeo de la distribución de contaminantes sobre la superficie de la oblea para identificar "puntos difíciles", con exclusión de borde cero.

Todas estas características se encuentran en un diseño nuevo, compacto y eficiente. El acceso para todos los trabajos de mantenimiento es a través de los paneles frontal y posterior, por lo que se puede colocar otro equipo de sala limpia al lado del TXRF 3800e. Esto representa un gran ahorro en el costoso espacio de la sala limpia.

Especificaciones
Nombre del producto TXRF 3800e
Técnica Fluorescencia de rayos X por reflexión total (TXRF)
Ventajas Análisis elemental rápido, de S a U, para medir la contaminación de obleas en todos los procesos de fab
Tecnología Sistema TXRF de doble haz con detector libre de nitrógeno líquido
Atributos principales Obleas de hasta 200 mm, sistema de etapa de muestra XYθ, sistema de transferencia robótica de obleas al vacío
Opciones principales Software de comunicación SECS/GEM. El software Sweeping TXRF permite el mapeo de la distribución de contaminantes sobre la superficie de la oblea para identificar "puntos difíciles"
Computadora PC interna, sistema operativo MS Windows®
Dimensiones principales 1000 (ancho) x 1760 (alto) x 948 (profundo) mm
Cuerpo 100 kg (unidad central)
Requerimientos de energía 3Ø, 200 VAC 50/60 Hz, 100 A