Aplicaciones de TXRF 3800e

TXRF 3800e applications

La aplicación del análisis TXRF (Fluorescencia de Rayos X por Reflexión Total) no se limita al análisis de la contaminación metálica sobre obleas de silicio desnudas (o al descubierto). El análisis de TXRF se puede utilizar para evaluar la limpieza de todos los procesos de fab, incluida la limpieza, la litografía, el grabado, incineración, películas, etc. Más allá de los dispositivos de silicio, la TXRF es también aplicable a los campos de los dispositivos semiconductores compuestos, MEMS, materiales orgánicos electroluminiscentes, etc.

  • obleas desnudas (o al descubierto)
  • obleas grabadas
  • obleas modeladas
  • VPD-procesado de obleas
  • obleas de vidrio
  • GaAs / SiC / sapphire