Especificaciones de TXRF 3800e

Especificaciones de TXRF 3800e

  • Tamaño de la oblea: 200 mm máx.
  • Fuente de rayos X de tubo sellado
  • Etapa de la muestra: fase XY θ
  • Detector de líquido libre de nitrógeno
  • Transformador eléctrico libre de aceite
  • Doble haz de excitación
  • Óptica de alineación automática
  • Capacidad de medición cero borde de exclusión (ZEE-TXRF)
  • Importación de datos desde la herramienta de inspección de defectos de la superficie externa