Especificaciones de WaferX 310

Especificaciones de WaferX 310

  • Tamaño de la oblea: 300mm, 200mm, y 150mm
  • Elementos de análisis simultáneo:21 canales máximo, tipo fijo (4Be ~92U), tipo de exploración (22Ti ~92U)
  • Tubo de rayos X: Objetivo de Rh, 4 kW máx.
  • Apertura: 10mm, 20mm, 40mm de diámetro con cambiador automático
  • Detector SC, S-PC, F-PC (PR gas requerido para F-PC)
  • Etapa XYZθ de la unidad de la muestra
  • Análisis de designación del punto: r , θspec, r: 1mm unit, θ: 1° unit; X, Y spec 1mm unit; ratón y teclado disponibles
  • Mecanismo de rotación de la muestra: Disponible para el análisis de punto central, 3rpm
  • Evacuación de carga: cámara de bloqueo
  • Casete - 300 mm: cinta abierta o FOUP (13 ó 25 obleas) - 200mm, 150mm: 25- o 26- oblea de casete abierto, orientación de alineación plana/ranura
  • Bomba de vacío: bomba en seco
  • Sistema de estabilización: estabilizador de temperatura, sistema de control automático de vacío
  • Intercambiador de calor: sistema de circulación de obleas desionizadas
  • Sistema de procesamiento de datos: PC con Windows 7, espesor de la película/software de análisis de concentración simultánea, software de parámetros fundamentales para el análisis de película delgada
  • Normas de seguridad: Cumple con la SEMI S2-0310
  • Otros: SMIF, FFU, configuraciones a través de paredes, etc.