Especificaciones de WDA-3650

Especificaciones de WDA-3650

  • Tamaño muestral: 200mm max.
  • Elementos de análisis simultáneos: 20 canales máximo, tipo fijo (4Be ~ 92U), exploración de tipo elementos pesado (22Ti~ 92U)
  • Tubo de rayos X: Objetivo de Rh, 4 kW máx.
  • Apertura: 4 diámetros seleccionables: 5 mm, 10mm, 15mm, 20mm, 40 mm
  • Detector: S-PC, SC, F-PC (se requiere de gas PR para F-PC)
  • Fase de la muestra: fase XY θ
  • Designación de análisis de punto: r, θ designación, r: paso 1 mm, θ: etapa 1°; ratón y el teclado de entrada disponibles
  • Mecanismo de rotación de la muestra: Disponible para el análisis de punto central, 6rpm
  • Bomba de vacío: bomba en seco
  • Sistema de estabilización: Estabilizador de temperatura, sistema de control automático de vacío
  • Sistema de procesamiento de datos: PC con Windows 7, espesor de la película/software de análisis de concentración simultánea, software de parámetros fundamentales para el análisis de película delgada
  • Normas de seguridad: Cumple con la SEMI S2-0310
  • Otros: SMIF, FFU, configuraciones a través de paredes, etc.