Análisis textural de hojas de cobre delgadas usando mediciones de figuras de polo de rayos X

Las hojas de cobre muy delgadas son ampliamente usadas como parte de la tarjeta de circuito en sistemas microelectrónicos cada vez más complejos, como los teléfonos inteligentes y las computadoras portátiles. Uno de los desafíos que enfrentan los ingenieros hoy en día es la optimización y el desarrollo bajo diferentes circunstancias. El entender la estructura textural de las hojas delgadas formadas durante el proceso de laminación es un paso esencial porque las propiedades electrónicas y térmicas de las hojas cristalinas son, por lo general, anisótropas. La difracción de Rayos X (DRX o XRF) es una de las técnicas no-destructivas ampliamente usadas en el análisis textural

En la Figura 1, se presenta la figura de polo (002) de una hoja de Cu de 50 micrones de grosor medida con el difractómetro de rayos X SmartLab de Rigaku. El pico (002) fuerte al centro de la figura de polo indica que la hoja (001) se orienta preferentemente a lo largo de la normal de la superficie. Los cuatros picos en la orilla son Cu (200), (200), (020), y (020)respectivamente, debido a las estructuras cubicas de las celosías de cobre.

X-ray pole figure of a thin<br />
Cu foil used in microelectronicsd

Figura 1: La figura de polo de rayos X de una hoja de Cu delgada usada en microelectrónicos.

Los otros 12 picos son reflexiones del grupo de planos de celosía [002]. Sin embargo, sus localizaciones indican que algunos de los granos en la hoja tienen sus eje (001) orientado a lo largo de algunas direcciones distintas, no-azarosas que no son la normal de la superficie. La textura observada debe ser el resultado de algún proceso de manufacturado de la hoja medida, y las figuras de polo pueden ser usadas para analizar la relación entre la textura y los procesos de manufacturado.


El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...