Observando la variación en la dirección de la profundidad en Inn, GaN y GaAs de manera no-destructiva

Las variaciones en la dirección de profundidad como la orientación, el constante de celosía, y la composición que ocurren en la superficie de una película (lámina) delgada pueden ser analizadas no-destructivamente usando el método de difracción de rayos X dentro-de-plano con el difractómetro multipropósito SmartLab de Rigaku. En el método de difracción dentro-de-plano, los rayos X penetran la superficie de una muestra de película delgada en ángulo rasado. Al controlar el ángulo de incidencia con precisión, se puede controlar la profundidad de los rayos X en la muestra. En el ejemplo presentado en la figura a continuación, sólo se observa la capa de superficie mientras incrementa el ángulo rasado. Después aparece el GaN y, cuando el ángulo rasado incrementa aún más, las señales des sustrato de GaAs empiezan a aparecer.


X-rays penetrate the surface of a thin-film sample at a glazing angle

El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...