Medición del mapa de celosía recíproca dentro-de-plano de películas (láminas) de NnO, MgO, y zafiro.

Aun cuando el grosor de una película es extremadamente delgado, la relación de la orientación cristalográfica con el sustrato puede ser analizada fácilmente usando el difractómetro multipropósito Smartlab de Rigaku equipado con un accesorio dentro-de-plano para efectuar el método de medición del mapa de celosía recíproca dentro-de-plano. En el método de difracción dentro-de-plano, los rayos X penetran la superficie de la muestra de película delgada en ángulo rasado – esta es la razón por la cual se pueden detectar las señales de la película delgada. Al adquirir las señales mientras poco a poco se cambia la orientación de la muestra, la información relacionada con la orientación de la muestra de película delgada puede ser obtenida mediante la medida del mapa de celosía recíproca.


In-plane reciprocal lattice map measurement

Ejemplo de la medida del mapa de celosía recíproco
ZnO (100 nm) / MgO (7 nm) / Zafiro

En el ejemplo anterior, se encuentra una capa delgada de buffer de MgO de alrededor de 7nm de grosor crecida epitaxialmente. El análisis revela que tiene una relación orientativa como la mostrada en la figura a la derecha (ZnO (001) [1120] // MgO (111) [110] // Zafiro (0001) [1100]).

Referencia:
Appl. Phys. Lett., (2001) vol.78, no.21, pp3352-3354, Y.F. Chen et al.


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