Análisis simultaneo de grosor, densidad, y aspereza de película (lámina) delgada

La disposición molecular y densidad de empacamiento de las moléculas en una lámina delgada es diferente a las de una muestra en granel. Como consecuencia, el grosor de la lámina es diferente a las expectativas basadas en las propiedades de una muestra en granel. La densidad, grosor, y aspereza de superficie de una muestra de lámina delgada pueden ser medidas simultáneamente y no-destructivamente usando la técnica de reflexión total de rayos X. Si la muestra de superficie es plana (un requisito de la reflectividad), el grosor absoluto de la lámina puede ser medido, aún en láminas delgadas de metal, las cuales no pueden ser evaluadas con un elipsómetro. La Figura siguiente, la cual fue recopilada usando el drifractómetro multipropósito SmartLab de Rigaku, muestra los resultados de una medida de reflectividad efectuada sobre una lámina de nitruro de silicio (Si3N4). En base al análisis de ajuste de datos, el grosor de la lámina es de 99.8 nm, la densidad de la lámina es de 2.88 g/cm 3, y la aspereza de superficie es: 0.65 nm.


reflectivity measurement performed on a film of silicon nitride film


El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...