Análisis mediante reflectividad de Rayos X con resolución-variable de películas (láminas) delgadas de AIN sobre sustratos de zafiro

Uno de los grandes desafíos que presenta el crecimiento y aplicación de películas (láminas) delgadas es el control preciso de sus grosores. La reflectividad de rayos X una técnica rápida y precisa – aunque no-destructiva – para medir el grosor de las películas (láminas). La técnica depende del efecto de interferencia de las longitudes de onda de rayos X dispersadas en las superficies superiores e inferiores de la película (lámina) delgada. Como consecuencia, se requieren ópticos de resolución mas alta ara medir el grosor de las películas (láminas).

El drifractómetro SmartLab ofrece alineación automática, capacidades ópticas de resolución variable (0.002 a 0.1° de divergencia) para el desempeño optimo de una variedad de grosores de películas (láminas) delgadas. En la Figura siguiente, se mide una película (lámina) delgada de 180 nm de AIN depositada sobre un sustrato de zafiro en resoluciones de 0.1 y 0.01°. Solo la curva de 0.01° de resolución claramente muestra las franjas de interferencia. Al ajustar la curva, se determina que el grosor actual de la película (lámina) de AIN es de 174 nm.

A 180 nm AlN thin film deposited on a sapphire substrate is measured



El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...