Difracción de Rayos X de triple-axis de películas (láminas) delgadas en Si (001)

El carburo de silicio es usado en leds azules, diodos Schottky de alto-voltaje ultra-rápidos, MESFETs (Transistor de Efecto de Campo de Metales Semi-Conductores), y tiristores de alta temperatura para la conmutación de alta potencia. Al crecer películas (láminas) de SiC sobre Si, pueden ser integradas con tecnologías Si maduras naturalmente. El crecer películas (láminas) de SiC de alta-calidad y sin defectos es esencial para sus aplicaciones.

La difracción de Rayos X de triple-axis en alta resolución ofrece un método no-destructivo, rápido, y cuantitativo para medir la calidad de la película (lámina) y sus posibles defectos de densidad.

En la figura siguiente, se presentan los perfiles ω y ω/2θ alrededor del punto (008) Bragg de una película (lámina) delgada de SiC 200 nm sobre un sustrato de Si (001) medido con el drifractómetro SmartLab. Usando la configuración de triple-axis, la cual consiste de un monocromador de 4-rebotes Ge(220) y un analizador de 2-rebotes Ge(220), se midieron los grosores del punto de celosía recíproco de SiC a lo largo de las direcciones dentro- y fuera-de-plano. El grosor dentro-de-plano (ω) típicamente se relaciona con la difusión de mosaicos o la densidad del desajuste de luxación; mientras que la densidad fuera-de-plano (ω/2θ) se refiere a la variación de los constantes de la celosía debido a, por ejemplo, la variación de composición. La angostura de los picos dentro- y fuera-de-plano de la muestra presentada a continuación indica que la película (lámina) es de calidad excelente.

Residual Stress

El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...