Composición y grosor de aleados de películas (láminas) delgadas epitaxiales

Las curvas de oscilación de rayos X de alta-resolución son usadas para precisamente determinar la composición y el grosor de aleados de películas (láminas) delgadas epitaxiales. El drifractómetro SmartLab® de Rigaku, el cual ofrece óptica de resolución variable, es ideal para tales propósitos. El diseño modular de los óptica SmartLab le permite a los usuarios insertar diferentes elementos óptica de su preferencia, como los monocromadores de haz de incidente: Ge(220)x2, Ge(220)x4, Ge(400)x2, o Ge(440)x4; y el analizador de haz difractado, Ge(220)x2. Estos módulos de óptica pueden ser detectados y alineados automáticamente por la computadora controlante. Una hendidura de recepción variable automática está disponible para el haz difractado.

En la figura siguiente, se presenta la curva oscilante de una de lamina delgada de AlxGa1-xAs ternaria crecida en un sustrato de GaAs (001) mediante epitaxia de haz molecular (EHM) medida con el drifractómetro SmartLab con generador estándar de tubo sellado de 2kW, y un monocromador Ge(220)x2. El barrido completo tardó alrededor de 2 min. Además del pico del sustrato de GaAs y el pico de la lámina de AlxGa1-xAs, se detectaron franjas de grosor debido al efecto de interferencia de los rayos X reflectados con el sustrato y la superficie de la lámina. La composición de la lámina es determinada mediante el grado de separación entre los picos del sustrato y los de la lámina: 0.104°; lo cual indica que la composición de la lámina es x=0.95. En basa a la separación entre las franjas de grosor (0.006°), se determina que el grosor de la lámina es de 8772.8 Å.

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El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more...