Análisis de reflectividad de rayos X de películas (láminas) delgadas.

La reflectividad de rayos X es una técnica única que puede determinar la aspereza de la superficie y el punto de contacto, grosor de la película (lámina), y densidad de las películas (láminas) de manera no-destructiva. El drifractómetro SmartLab de Rigaku ha hecho una tarea bastantemente simple de las mediciones de reflectividad de rayos X. La alineación precisa y optimización de condiciones son llevadas a cabo automáticamente en base a la información de la muestra. Lo único que deben hacer los usuarios es introducir un intervalo de densidad aproximada y tamaños de muestra, y el software Guidance se encargará de lo demás.

A continuación, se presenta una curva de reflectividad de rayos X obtenida de un aleado de película (lámina) de WCN en un substrato de silicón. El bordeo de grosor es observable debido a la interferencia de los haces de rayos X reflectados en la superficie libre y los puntos de contacto. Esta curva experimental está ajustada de acuerdo a una estructura de modelo por el software Rigaku de reflectividad, GIXRR. En base a los resultados de ajuste presentados en la Tabla, parece que se hubo una reacción en el punto de contacto entre la película (lámina) y el substrato, resultando en una capa interfacial con densidad baja.La superficie parece tener concentraciones W más bajas que el resto de la muestra. También se puede ver que la aspereza de la lámina (película) ha incrementado con el crecimiento.

Reflectivity curve measured



El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...