Mapeo (asignación) recíproco especial de rayos X en alta definición de nano-estructuras epitaxiales

Debido a los efectos cuánticos, las nano-estructuras de semiconductor epitaxiales III-V prometen mejores dispositivos opto-electrónicos, como leds, láseres, y detectores. La auto-asamblea es, probablemente, la técnica más rápida y económica para crecer tales nano-estructuras. La caracterización precisa de la distribución de estrés (tensión) – al igual que el tamaño y forma – de las nano-estructuras es crucial para comprender su mecanismo de crecimiento y, así, mejorar su calidad.

El mapeo (asignación) recíproco especial de rayos X en alta definición ha demostrado ser una técnica poderosa para el estudio de nano-estructuras epitaxiales, incluyendo los pozos cuánticos, cables, y puntos. La resolución variable de la óptica SmartLab permite efectuar medidas rápidas de tales nano-estructuras en resoluciones bajas, media, o altas. A continuación hay un mapa (004) de espacio recíproco (visualizado en topografía 3D y contorno 2D) tomado con una matriz de nano-cables InAs en 2D con espaciadores GaSb crecidos en un substrato de GaSb con epitaxia de haz molecular (MBE). Un configuración de alta-definición en combinación con un monocromador Ge(220)*2 y un analizador Ge(220)*2 fue usado para lograr suficiente resolución para efectuar esta medida.

(004) reciprocal space map

La apariencia de los satélites 2D de alto-orden en el mapa claramente indica que los nano-cables InAs forman una celosía 2D bien ordenada con simetría de rectángulos de faz-centrada. Usando la posición de los satélites, se determina que esta celosía de rectángulo 2D es de 120 nm de ancho y 16 nm de alto. Más información, como la distribución de tensión, también puede ser obtenida de las intensidades del satélite mediante calculaciones de modelo bastante complicadas.


El SmartLab es el más novedoso difractómetro de alta resolución disponible en la actualidad. Tal vez su característica más novedosa es el software SmartLab Guiadance, que proporciona al usuario una interfaz inteligente que le guía a través de las complejidades de cada experimento. Es como tener un experto a su lado. Read more about SmartLab...