Películas (láminas) delgadas texturizadas

La Figura siguiente presenta figuras de polo de una película (lámina) delgada de AIN con un grosor de alrededor de 170 nm crecida de manera epitaxial sobre un sustrato de zafiro-c usando el sistema de difracción en alta-definición SmartLab® de Rigaku. Los tres puntos verdes sobre el círculo rojo surgen del sustrato de zafiro, mientras que los seis puntos azules son relecciones de la película (lámina) de AIN.

Las películas (láminas) crecidas mediante técnicas de deposición física o química a menudo exhiben estructuras texturizadas, las cuales son responsables por las propiedades físicas anisótropas. El análisis de figuras de polo de rayos X es capaz de proporcionar información cuantitativa sobre la película (lámina) delgada al igual que la relación epitaxial entre las películas (láminas) y los sustratos.

Measured pole figure of a 170 nm thick AlN thin film

De acuerdo a la siguiente figura de polo, la unidad de celda de cristal de AIN esta rotada 30° con respecto al sustrato de zafiro, como visto a continuación. Además, se observa que la película (lámina) esta bien orientada, con una inclinación fuera-de-plano y una torsión dentro-de-plano de menos de 0.5°.

crystal unit cell of AlN is rotated



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