Difracción de rayos X con ángulo de incidencia rasado de una película (lámina) delgada de oxido de molibdeno.

Las películas (láminas) de oxido de molibdeno están siendo usadas más y más en una gran variedad de aplicaciones, como: retrovisores, paneles de visualización, sensores de gas, etc.

La difracción de rayos X con ángulo de incidencia rasado (GIXRD) es una técnica viable para el estudio de películas (láminas) depositadas en un substrato mediante varios procesos. Esta técnica incrementa la señal de la película (lámina), mientras que la señal del substrato es eliminada o, cuanto menos, reducida.

Figura 1: Barrido θ/2θ de película (lámina) de MoO₃ sobre un substrato de SnO₂/cristal

La figura 1 presenta un barrido θ/2θ convencional de una película (lámina) depositada sobre substrato de óxido de estaño (SnO₂)/cristal. Los datos fueron recopilados con el sistema de difracción Rigaku multipropósito, Ultima IV. Los picos de difracción del substrato y de la película (lámina) están presentes en el barrido convencional; también se observo una dispersión amorfa del substrato alrededor de 2θ = 25°. Con el barrido θ/2θ convencional, parte del haz de incidencia penetra la película (lámina) y se dispersa por el substrato. Los picos de difracción y difusión que se dispersan por el substrato pueden interferir con los datos de difracción de la película (lámina) delgada, causando errores de posición y anchura en los picos.

Figura 2: Barrido GIXRD de una película (lámina) MoO₃ sobre un substrato SnO₂/cristal

La figura 2 presenta un barrido GIXRD de la misma muestra. La señal de la película (lámina) es incrementada mientras que se disminuye la señal del substrato.

Figura 3:Comparación de los barridos GIXRD y θ/2θ
La Figura 3 compara los dos patrones de difracción. Puede ver usted que las técnicas GIXRD efectivamente eliminan la difracción y dispersión del substrato y hace que el análisis de película (lámina) sea mas fácil y preciso.