Análisis de reflectividad de rayos X de película (lámina) de estaño óxido de indio en cristal

Análisis de reflectividad de rayos-X de película (lámina) de estaño óxido de indio en cristal.

El estaño óxido de indio (ITO) es una solución sólida de óxido de indio (In2O3) y estaño óxido (SnO2). Debido a su alta conductividad eléctrica y transparencia óptica, el ITO es usado para hacer cubiertas conductivas transparentes de pantallas de cristal y paneles duros. La calidad de las láminas de ITO depositadas es un factor clave que determina sus propiedades ópticas y eléctricas.

La reflectividad de rayos X (RRX o XRR) es un método analítico no-destructivo para la caracterización de materiales de lámina delgada. En particular, la XRR mide la densidad, grosos, y aspereza de la lamina al mismo tiempo. En la figura 1 a continuación, se presenta el perfil XRR en una lámina ITO depositada en un substrato de cristal. Nominalmente, esta es una lámina mono-capa con un grosor de 20nm. Al aplicar la Transformada Rápida de Fourier (FFT) al perfil medido, el grosor de la lámina puede ser estimado. Los resultados se presentan en la Figura 2, la cual sugiere que hay dos capas con densidades diferentes y grosores de alrededor de 4.2nm y 14.9nm en la muestra.

XRR profile of an ITO film on a glass substrate

Figura 1: Perfil XRR de una lámina ITO en substrato de cristal

XRR profile of an ITO film on a glass substrate

Figura 2: FFT del perfil XRR presentado en la Figura 1
Los números arriba de los picos muestran el grosor de capa calculado
Los números en paréntesis muestran la profundidad de superficie.

Datos recopilados usando el sistema Rigaku de difracción multipropósito, Ultima IV.


Ultima IV representa el sistema estado del arte dentro de los sistemas multiuso de difracción de rayos X (DRX o XRD). Incorporando la tecnología patentada de la óptica transversal del haz (CBO) de Rigaku para instalarse y alinearse permanentemente, y permitir enfoque de geometrías y paralelos seleccionables por el usuario; el difractómetro de rayos X Ultima IV puede realizar muchas mediciones diferentes ... rápidamente... Read more...