Barrido en-demanda dentro-de-plano para análisis de película (lámina) delgada

La habilidad del Ultima IV para hacer barridos de ángulos rasados de incidencia dentro y fuera de plano sin la necesidad de reconfigurar el sistema revoluciona el análisis de película (lámina) delgada. Con el sistema goniómetro para el barrido en-plano patentado por Rigaku, se pueden rutinariamente medir capaz hasta de 1 nm de delgadas.

Aplicaciones de película (lamina) delgada respaldadas, incluyen:

  • Identificación de fase
  • Grosor
  • Orientación/textura
  • Aspereza de interface
  • Perfección del cristal
  • Densidad
  • Tensión/estrés

En la siguiente medición de un foto-catalizador de película (lámina) delgada, se demuestra que el uso de barrido de incidencia glaseado es crítico. La óptica de haz-Cruzado (CBO) permite la fácil y complementaria medición de películas (láminas) delgada en materiales a granel y en polvo. La siguiente figura demuestra la mejora de los datos de difracción en modo de incidencia rasada comparado con la medida simétrica convencional θ/2θ. Los picos de difracción de la película (lámina) son claramente visibles en el en modo de incidencia rasada.

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode

El barrido en-demanda combinado dentro- y fura-de-plano proporciona una imagen completa de la texturizarían de películas (láminas) delgadas. En el siguiente ejemplo, barridos dentro-de-plano (00L) y fuera-de-plano (HK0) se realizaron sobre una estructura de película (lámina) de Silicón (Si)/pentaceno con grosor de 50nm. La medida dentro-de-plano hecha en ángulo rasado a 0.18° ofrece una perspectiva única de la orientación de la película (lámina).

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode

Las medidas de reflectividad de rayos X (XRR) se usan para determinar el grosor de películas (láminas), aspereza superficial, aspereza de interface, y densidad en materiales estratificados. Nuevamente, la selección de un solo toque de geometría de haz paralelo proporcionada por la óptica de haz-cruzado (CBO) - en combinación con la alineación de muestra crítica para la XRR – hace que estas medidas sean posibles. El próximo ejemplo muestra las curvas XRR calculadas y experimentales de una capa de tres pilas GaAs, GaAs, InGaAs sobre un substrato GaAs.

enhancement of diffraction data in glancing incidence mode



Ultima IV representa el sistema estado del arte dentro de los sistemas multiuso de difracción de rayos X (DRX o XRD). Incorporando la tecnología patentada de la óptica transversal del haz (CBO) de Rigaku para instalarse y alinearse permanentemente, y permitir enfoque de geometrías y paralelos seleccionables por el usuario; el difractómetro de rayos X Ultima IV puede realizar muchas mediciones diferentes ... rápidamente... Read more...