NANOHUNTER II: capacidad de ángulo variable GI-XRF

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Para los análisis de película delgada, una metodología llamada fluorescencia de rayos X de ángulo de incidencia rasante (GI-XRF) puede ser empleada; en la cual los elementos por arriba y por debajo de la superficie son excitados selectivamente por la variación del ángulo de incidencia de la fuente de rayos X. En este ejemplo, una película delgada de 25 nm de níquel (Ni) sobre un sustrato de vidrio fue medida en dos diferentes ángulos de incidencia: 0.02° y 0.40°. Sólo Ni fue excitado fuertemente a 0.02 de la condición de excitación GI (espectro azul). Sin embargo, los elementos incluidos en el sustrato de vidrio son excitados al mayor ángulo de 0.40° (espectro rojo), ya que los rayos X penetran más profundamente en el sustrato.