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半导体计量

用于薄膜表征的XRF、XRD和XRR

半导体计量理学公司是设计和制造基于X射线测量工具解决半导体制造业面临的难题方面的先驱和领导者。在半导体行业中大约30年的全球市场领导地位，我们的产品系列使从晶片加工控制计量到薄膜研发和材料表征可能。

仪器

MFM310   MFM310
用于图案化晶片的工程管理用XRR、XRF和XRD计量工具，最高可测量300mm的晶片		   TXRF-310   TXRF-310
使用TXRF测量微量元素的表面污染，最高可测300mm晶片		   TXRF 3760   TXRF 3760
使用TXRF测量微量元素的表面污染，最高可测200mm晶片
TXRF-V310   TXRF-V310
使用TXRF和VPD功能计量微量元素的表面污染，最高可测300mm晶片		   WaferX 310   WaferX 310
用于生产线的晶片金属薄膜计量的同时WDXRF光谱仪，最高可测300mm晶片		   WDA-3650   WDA-3650
晶片金属薄膜计量的同时WDXRF光谱仪，最高可测200mm晶片
SmartLab   SmartLab
通过系统指导软件（Guidance）运行的最新锐的高分辨率XRD仪器		   Ultima IV   Ultima IV
用于应用程序从研发到质量管理的高性能多功能的XRD仪器		   TTRAX III   TTRAX III
世界最大功率θ/θ高分辨率X射线衍射仪，特点为面内衍射机械臂

Rigaku Small Molecule products
Rigaku Chem ident
Rigaku Elemental Analysis products
Rigaku Materials Analysis products
Rigaku Semiconductor products
Rigaku Life Sciences products
Rigaku Vacuum products
Rigaku detectors
Rigaku optics
NSI X-ray Tubes

In the spotlight

HyPix-3000
HyPix-3000
HyPix-3000 is a next-generation two-dimensional semiconductor hybrid pixel array detector (HPAD), pixel size of 100 um², designed specifically to meet the needs of the home lab diffractionist.
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