多結晶Si特定ドメインの極点測定

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多結晶体とは複数の単結晶粒子で構成されており、それぞれの単結晶粒子がランダムな方向を向いている状態のことをいいます。多結晶体中の各単結晶粒子の方位は、試料面に対して3次元的な方向の回折強度分布を調べる手法である極点測定で判断できます。従来のX線回折装置を用いた極点測定では、入射X線が発散するために、試料面全体の比較的大きな領域の結晶方位を評価するための方法として用いられていましたが、微小焦点光学素子を搭載したSmartLab µHRと高速2次元X線検出器を用いることで多結晶体中の特定単結晶粒子のみの方位測定が可能になりました。


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