有機TFT用ペンタセン薄膜の結晶相および配向状態観察

有機TFT(有機薄膜トランジスター)材料の中で、ペンタセンはアモルファスSiに迫るキャリア移動度をもつ材料として注目されていますが、目標とする特性を得るには結晶相や分子配向を制御することが不可欠です。今回は、製膜条件(膜厚)の異なるペンタセン薄膜の結晶相の同定、配向の評価を行いました。


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